洛陽混合氣體和計量學上的標準氣體有許多相似的特點，但又有許多不同，混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要氣體具有優(yōu)良的品質，換言之，混合氣體必須要確?；旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質不能高于某值。在8in以上的IC生產線，也應對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。

　　1、混合氣體的氣瓶處理

　　同其他氣體不同，對盛裝混合氣體的氣瓶的要求十分嚴格，否則，即便是混合氣體配制的準確度再高，穩(wěn)定性再好也無法使用。

　　首先混合氣體的氣瓶幾何尺寸，如體積、直徑、瓶高度要滿足用戶要求。在半導體等領域，氣瓶通常安放在氣瓶柜內使用，氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后，氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。對于不同種類的洛陽混合氣體在氣瓶色標、警示標志等方面國外已有極其詳細的標準，如美國的CGA、歐盟的ISO等，我們國家在此方面仍在認識和完善中。

　　2、混合氣體配制裝置技術要求

　　同其他標準氣體制備不同的是，配制混合氣體的裝置似乎更為復雜，洛陽混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP級別，材質為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0.25級，材質316L。為確保配制裝置不產生污染使用前要求系統(tǒng)。

　　混合氣常用的平衡氣或稱底氣：N2，H2，He，Ar，O2;組分氣：PH3，SiH4，B2h6，Sih6，GeH4，AsH3，TMB，BF3等，為了減少平衡氣體中有害雜質的含量，設有平衡氣體高壓凈化器，通過凈化平衡氣的純度大于99.9999%，在凈化器的出口設有在線H2O，O2檢測儀表，隨時反映凈化器出口氣體關鍵雜質的含量。

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